Ion beam assisted chemical vapor deposition of hybrid coatingsProcess diagnostics and mechanisms

Artem Shelemin, Oleg Zabeida, Jolanta-Ewa Sapieha et Ludvik Martinu

Article de revue (2021)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/49989/
Titre de la revue:	Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films (vol. 39, no 6)
Maison d'édition:	AVS Science and Technology Society
DOI:	10.1116/6.0001291
URL officielle:	https://doi.org/10.1116/6.0001291
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:00
Dernière modification:	05 avr. 2024 11:53

Citer en APA 7:	Shelemin, A., Zabeida, O., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (2021). Ion beam assisted chemical vapor deposition of hybrid coatingsProcess diagnostics and mechanisms. Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 39(6), 17 pages. https://doi.org/10.1116/6.0001291
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