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Effect of substrate bias on the microstructure and properties of nanocomposite titanium nitride-based films

M. Dudek, O. Zabeida, Jolanta-Ewa Sapieha et Ludvik Martinu

Article de revue (2009)

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Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/41979/
Titre de la revue: Journal of Achievements in Materials and Manufacturing Engineering (vol. 37, no 2)
URL officielle: http://jamme.acmsse.h2.pl/papers_vol37_2/37228.pdf
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:14
Dernière modification: 25 sept. 2024 16:28
Citer en APA 7: Dudek, M., Zabeida, O., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (2009). Effect of substrate bias on the microstructure and properties of nanocomposite titanium nitride-based films. Journal of Achievements in Materials and Manufacturing Engineering, 37(2), 416-421. http://jamme.acmsse.h2.pl/papers_vol37_2/37228.pdf

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