Matěj Hala, Richard Vernhes, Oleg Zabeida, Jolanta-Ewa Sapieha
, Ludvik Martinu
Article de revue (2014)
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Département:
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Titre de la revue
:
Journal of Applied Physics
(
vol.
116
,
no
21
)
Maison d'édition:
American Institute of Physics
DOI:
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:41948
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:08
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:52
Citer en APA 7:
Hala, M., Vernhes, R., Zabeida, O., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (2014). Reactive HiPIMS deposition of SiO₂/Ta₂O₅ optical interference filters. Journal of Applied Physics, 116(21), 213302-213302. https://doi.org/10.1063/1.4903285
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