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Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition of Functional Coatings

Ludvik Martinu, O. Zabeida et Jolanta-Ewa Sapieha

Chapitre de livre (2010)

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Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/38362/
Maison d'édition: Elsevier
DOI: 10.1016/b978-0-8155-2031-3.00009-0
URL officielle: https://doi.org/10.1016/b978-0-8155-2031-3.00009-0
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:13
Dernière modification: 25 sept. 2024 16:22
Citer en APA 7: Martinu, L., Zabeida, O., & Sapieha, J.-E. (2010). Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition of Functional Coatings. Dans Handbook of deposition technologies for films and coatings : science, applications and technologu (p. 392-465). https://doi.org/10.1016/b978-0-8155-2031-3.00009-0

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