Michel Meunier
, R. Izquierdo, Patrick Desjardins, M. Tabbal, A. Lecours et Arthur Yelon
Article de revue (1992)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| Centre de recherche: | GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces |
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/35792/ |
| Titre de la revue: | Thin Solid Films (vol. 218, no 1-2) |
| Maison d'édition: | Elsevier |
| DOI: | 10.1016/0040-6090(92)90911-t |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1016/0040-6090%2892%2990911-t |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:26 |
| Dernière modification: | 25 sept. 2024 16:19 |
| Citer en APA 7: | Meunier, M., Izquierdo, R., Desjardins, P., Tabbal, M., Lecours, A., & Yelon, A. (1992). Laser direct writing of tungsten from WF₆. Thin Solid Films, 218(1-2), 137-143. https://doi.org/10.1016/0040-6090%2892%2990911-t |
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