Thermal Stress in Doped Silicate Glasses (B,P) Deposited by PECVD and LPCVD

Hervé Bouchard, A. Azelmad, John F. Currie, Michel Meunier, Stéphane Blain, T. Darwall

Communication écrite (1993)

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Nom de la conférence:
1993 MRS Spring Meeting
Lieu de la conférence:
San Francisco, CA
Date(s) de la conférence:
1993-04-12 - 1993-04-16
Titre de la revue :
MRS Proceedings ( vol. 308 )
Maison d'édition:
Materials Research Society
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:35705
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:25
Citer en APA 7:
Bouchard, H., Azelmad, A., Currie, J. F., Meunier, M., Blain, S., & Darwall, T. (avril 1993). Thermal Stress in Doped Silicate Glasses (B,P) Deposited by PECVD and LPCVD [Communication écrite]. 1993 MRS Spring Meeting, San Francisco, CA. Publié dans MRS Proceedings, 308. https://doi.org/10.1557/proc-308-63

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