Thermal Stress in Doped Silicate Glasses (B,P) Deposited by PECVD and LPCVD

Hervé Bouchard, A. Azelmad, John F. Currie, Michel Meunier, Stéphane Blain et T. Darwall

Communication écrite (1993)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/35705/
Nom de la conférence:	1993 MRS Spring Meeting
Lieu de la conférence:	San Francisco, CA
Date(s) de la conférence:	1993-04-12 - 1993-04-16
Titre de la revue:	MRS Proceedings (vol. 308)
Maison d'édition:	Materials Research Society
DOI:	10.1557/proc-308-63
URL officielle:	https://doi.org/10.1557/proc-308-63
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:	08 avr. 2025 06:57

Citer en APA 7:	Bouchard, H., Azelmad, A., Currie, J. F., Meunier, M., Blain, S., & Darwall, T. (avril 1993). Thermal Stress in Doped Silicate Glasses (B,P) Deposited by PECVD and LPCVD [Communication écrite]. 1993 MRS Spring Meeting, San Francisco, CA. Publié dans MRS Proceedings, 308. https://doi.org/10.1557/proc-308-63
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