Gérald Gagnon, John F. Currie, G. Beique, J. L. Brebner, S. C. Gujrathi, L. Ouellet
Article de revue (1994)
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Renseignements supplémentaires:
Nom historique du département: Département de métallurgie et de génie des matériaux
Département:
Adresse URL de PolyPublie:
Titre de la revue
:
Journal of Applied Physics
(
vol.
75
,
no
3
)
Maison d'édition:
American Institute of Physics
DOI:
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:33292
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:25
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:21
Citer en APA 7:
Gagnon, G., Currie, J. F., Beique, G., Brebner, J. L., Gujrathi, S. C., & Ouellet, L. (1994). Characterization of reactively evaporated TiN layers for diffusion barrier applications. Journal of Applied Physics, 75(3), 1565-1570. https://doi.org/10.1063/1.356392
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