Excimer laser for in situ processing in microelectronics

Michel Meunier, Patrick Desjardins, R. Izquierdo, M. Tabbal, M. Suys

Chapitre de livre (1994)

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Département:
Département de génie physique
Unité de recherche:
GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces
ISBN:
0792328191
Adresse URL de PolyPublie:
https://publications.polymtl.ca/33009/
Éditeurs ou éditrices:
L. D. Laude
Maison d'édition:
Kluwer Academic
DOI:
10.1007/978-94-015-8104-2_21
URL officielle:
https://doi.org/10.1007/978-94-015-8104-2_21
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:33009
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:25
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:21
Citer en APA 7:
Meunier, M., Desjardins, P., Izquierdo, R., Tabbal, M., & Suys, M. (1994). Excimer laser for in situ processing in microelectronics. Dans Laude, L. D. (édit.), Excimer lasers : The tools, fundamentals of their interactions with matter, field of applications (p. 319-338). https://doi.org/10.1007/978-94-015-8104-2_21

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