Michel Meunier
, Patrick Desjardins, R. Izquierdo, M. Tabbal et M. Suys
Chapitre de livre (1994)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| Centre de recherche: | GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces |
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/33009/ |
| Éditeurs ou éditrices: | L. D. Laude |
| Maison d'édition: | Kluwer Academic |
| DOI: | 10.1007/978-94-015-8104-2_21 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1007/978-94-015-8104-2_21 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:25 |
| Dernière modification: | 05 avr. 2024 11:23 |
| Citer en APA 7: | Meunier, M., Desjardins, P., Izquierdo, R., Tabbal, M., & Suys, M. (1994). Excimer laser for in situ processing in microelectronics. Dans Laude, L. D. (édit.), Excimer lasers : The tools, fundamentals of their interactions with matter, field of applications (319-338). https://doi.org/10.1007/978-94-015-8104-2_21 |
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