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Evaluation of adhesion of thin films of Si₃N₄ and SiO₂ to si by the scratch method

R. Berriche, P. Leroux et Ludvik Martinu

Communication écrite (1995)

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Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/32567/
Nom de la conférence: International Symposium on Advanced Ceramics for Structural and Tribological Applications
Lieu de la conférence: Vancouver, BC, CAN
Date(s) de la conférence: 1995-08-20 - 1995-08-24
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:24
Dernière modification: 25 sept. 2024 16:14
Citer en APA 7: Berriche, R., Leroux, P., & Martinu, L. (août 1995). Evaluation of adhesion of thin films of Si₃N₄ and SiO₂ to si by the scratch method [Communication écrite]. International Symposium on Advanced Ceramics for Structural and Tribological Applications, Vancouver, BC, CAN.

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