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An iterative procedure based on Monte Carlo simulation to determine the thickness and composition of VLSI metallization

M. Caron, Gérald Gagnon, Raymond Gauvin, P. Hovington, D. Drouin, John F. Currie, Y. Tremblay, L. Ouellet, M. Bigerger et F. Wong

Communication écrite (1996)

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Renseignements supplémentaires: Nom historique du département: Département de métallurgie et de génie des matériaux
Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/31444/
Nom de la conférence: 13th International VLSI Multilevel Interconnection (V-MIC) Conference
Lieu de la conférence: Santa Clara, CA, USA
Date(s) de la conférence: 1996-06-18 - 1996-06-20
Maison d'édition: VMIC
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:24
Dernière modification: 05 avr. 2024 11:21
Citer en APA 7: Caron, M., Gagnon, G., Gauvin, R., Hovington, P., Drouin, D., Currie, J. F., Tremblay, Y., Ouellet, L., Bigerger, M., & Wong, F. (juin 1996). An iterative procedure based on Monte Carlo simulation to determine the thickness and composition of VLSI metallization [Communication écrite]. 13th International VLSI Multilevel Interconnection (V-MIC) Conference, Santa Clara, CA, USA.

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