M. Caron, Gérald Gagnon, Raymond Gauvin, P. Hovington, D. Drouin, John F. Currie, Y. Tremblay, L. Ouellet, M. Bigerger, F. Wong
Communication écrite (1996)
Accéder à ce document
Non disponible
Ce document n'est pas archivé dans PolyPublie
Renseignements supplémentaires:
Nom historique du département: Département de métallurgie et de génie des matériaux
Département:
Adresse URL de PolyPublie:
Nom de la conférence:
13th International VLSI Multilevel Interconnection (V-MIC) Conference
Lieu de la conférence:
Santa Clara, CA, USA
Date(s) de la conférence:
1996-06-18 - 1996-06-20
Maison d'édition:
VMIC
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:31444
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:24
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:18
Citer en APA 7:
Caron, M., Gagnon, G., Gauvin, R., Hovington, P., Drouin, D., Currie, J. F., Tremblay, Y., Ouellet, L., Bigerger, M., & Wong, F. (juin 1996). An iterative procedure based on Monte Carlo simulation to determine the thickness and composition of VLSI metallization [Communication écrite]. 13th International VLSI Multilevel Interconnection (V-MIC) Conference, Santa Clara, CA, USA.
Statistiques
Aucune statistique n'est disponible.
