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Effect of the oxidation of TiN on the stability of the Al/TiN interface

Gérald Gagnon, S. C. Gujrathi, M. Caron, John F. Currie, Y. Tremblay, L. Ouellet, M. Biberger et R. Reynolds

Article de revue (1996)

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Renseignements supplémentaires: Nom historique du département: Département de métallurgie et de génie des matériaux
Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/31309/
Titre de la revue: Journal of Applied Physics (vol. 80, no 1)
Maison d'édition: American Institute of Physics
DOI: 10.1063/1.362804
URL officielle: https://doi.org/10.1063/1.362804
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:24
Dernière modification: 05 avr. 2024 11:21
Citer en APA 7: Gagnon, G., Gujrathi, S. C., Caron, M., Currie, J. F., Tremblay, Y., Ouellet, L., Biberger, M., & Reynolds, R. (1996). Effect of the oxidation of TiN on the stability of the Al/TiN interface. Journal of Applied Physics, 80(1), 188-195. https://doi.org/10.1063/1.362804

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