Effect of the oxidation of TiN on the stability of the Al/TiN interface

Gérald Gagnon, S. C. Gujrathi, M. Caron, John F. Currie, Y. Tremblay, L. Ouellet, M. Biberger, R. Reynolds

Article de revue (1996)

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Renseignements supplémentaires:
Nom historique du département: Département de métallurgie et de génie des matériaux
Adresse URL de PolyPublie:
Titre de la revue :
Journal of Applied Physics ( vol. 80 , no 1 )
Maison d'édition:
American Institute of Physics
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:31309
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:24
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:18
Citer en APA 7:
Gagnon, G., Gujrathi, S. C., Caron, M., Currie, J. F., Tremblay, Y., Ouellet, L., Biberger, M., & Reynolds, R. (1996). Effect of the oxidation of TiN on the stability of the Al/TiN interface. Journal of Applied Physics, 80(1), 188-195. https://doi.org/10.1063/1.362804

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