Tribological study of CNₓ films prepared by reactive d.c. magnetron sputtering

V. Hajek, K. Rusnak, J. Vlcek, Ludvik Martinu et H. M. Hawthorne

Article de revue (1997)

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Département:	Département de génie physique
Centre de recherche:	GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/30418/
Titre de la revue:	Wear (vol. 213, no 1-2)
Maison d'édition:	Elsevier
DOI:	10.1016/s0043-1648(97)00176-2
URL officielle:	https://doi.org/10.1016/s0043-1648%2897%2900176-2
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:23
Dernière modification:	25 sept. 2024 16:12

Citer en APA 7:	Hajek, V., Rusnak, K., Vlcek, J., Martinu, L., & Hawthorne, H. M. (1997). Tribological study of CNₓ films prepared by reactive d.c. magnetron sputtering. Wear, 213(1-2), 80-89. https://doi.org/10.1016/s0043-1648%2897%2900176-2
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