S. C. Gujrathi, S. Roorda, J. G. D'Arcy, R. L. Pflueger, Patrick Desjardins
, I. Petrov, J. E. Greene
Article de revue (1998)
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Titre de la revue
:
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B, Beam Interactions With Materials and Atoms
(
vol.
136-138
)
Maison d'édition:
Elsevier
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:29633
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Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:23
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:07
Citer en APA 7:
Gujrathi, S. C., Roorda, S., D'Arcy, J. G., Pflueger, R. L., Desjardins, P., Petrov, I., & Greene, J. E. (1998). Quantitative compositional depth profiling of Si₁₋ₓ₋yGeₓCy thin films by simultaneous elastic recoil detection and Rutherford backscattering spectrometry. Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B, Beam Interactions With Materials and Atoms, 136-138, 654-660. https://doi.org/10.1016/s0168-583x%2897%2900881-1
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