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Ion Energy Distributions in Pulsed Large Area Microwave Plasma

O. Zabeida et Ludvik Martinu

Article de revue (1999)

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Renseignements supplémentaires: Nom historique du département: Département de génie physique et de génie des matériaux
Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/28463/
Titre de la revue: Journal of Applied Physics (vol. 85, no 9)
Maison d'édition: American Institute of Physics
DOI: 10.1063/1.370139
URL officielle: https://doi.org/10.1063/1.370139
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:22
Dernière modification: 25 sept. 2024 16:09
Citer en APA 7: Zabeida, O., & Martinu, L. (1999). Ion Energy Distributions in Pulsed Large Area Microwave Plasma. Journal of Applied Physics, 85(9), 6366-6372. https://doi.org/10.1063/1.370139

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