Article de revue (1999)
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| Renseignements supplémentaires: | Nom historique du département: Département de génie physique et de génie des matériaux |
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| Département: | Département de génie physique |
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/28463/ |
| Titre de la revue: | Journal of Applied Physics (vol. 85, no 9) |
| Maison d'édition: | American Institute of Physics |
| DOI: | 10.1063/1.370139 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1063/1.370139 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:22 |
| Dernière modification: | 05 avr. 2024 11:16 |
| Citer en APA 7: | Zabeida, O., & Martinu, L. (1999). Ion Energy Distributions in Pulsed Large Area Microwave Plasma. Journal of Applied Physics, 85(9), 6366-6372. https://doi.org/10.1063/1.370139 |
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