Article de revue (1999)
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Renseignements supplémentaires:
Nom historique du département: Département de génie physique et de génie des matériaux
Département:
Adresse URL de PolyPublie:
Titre de la revue
:
Journal of Applied Physics
(
vol.
85
,
no
9
)
Maison d'édition:
American Institute of Physics
DOI:
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:28463
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:22
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:05
Citer en APA 7:
Zabeida, O., & Martinu, L. (1999). Ion Energy Distributions in Pulsed Large Area Microwave Plasma. Journal of Applied Physics, 85(9), 6366-6372. https://doi.org/10.1063/1.370139
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