Thèse de doctorat (2000)
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| Renseignements supplémentaires: | Nom historique du département: Département de génie physique et de génie des matériaux |
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| Département: | Département de génie physique |
| Directeurs ou directrices: |
Michel Meunier et Edward Sacher
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| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/27746/ |
| Université/École: | École Polytechnique de Montréal |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:22 |
| Dernière modification: | 01 oct. 2024 10:06 |
| Citer en APA 7: | Wu, X. (2000). Excimer laser-induced removal of particles from silicon surfaces [Thèse de doctorat, École Polytechnique de Montréal]. PolyPublie. https://publications.polymtl.ca/27746/ |
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