Thèse de doctorat (2000)
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Nom historique du département: Département de génie physique et de génie des matériaux
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École Polytechnique de Montréal
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18 avr. 2023 15:22
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:03
Citer en APA 7:
Wu, X. (2000). Excimer laser-induced removal of particles from silicon surfaces [Thèse de doctorat, École Polytechnique de Montréal]. PolyPublie. https://publications.polymtl.ca/27746/
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