J.-S. Chun, Patrick Desjardins, I. Petrov, J. E. Greene, C. Lavoie et C. Jr. Cabral
Article de revue (2001)
Un lien externe est disponible pour ce documentDépartement: | Département de génie physique |
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URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/27502/ |
Titre de la revue: | Thin Solid Films (vol. 391, no 1) |
Maison d'édition: | Elsevier |
DOI: | 10.1016/s0040-6090(01)00938-5 |
URL officielle: | https://doi.org/10.1016/s0040-6090%2801%2900938-5 |
Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:21 |
Dernière modification: | 05 avr. 2024 11:15 |
Citer en APA 7: | Chun, J.-S., Desjardins, P., Petrov, I., Greene, J. E., Lavoie, C., & Cabral, C. J. (2001). Interfacial reaction pathways and kinetics during annealing of epitaxial Al(001)/TiN(001) model diffusion barrier systems. Thin Solid Films, 391(1), 69-80. https://doi.org/10.1016/s0040-6090%2801%2900938-5 |
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