J.-S. Chun, Patrick Desjardins
, I. Petrov, J. E. Greene, C. Lavoie, C. Jr. Cabral
Article de revue (2001)
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Département:
Adresse URL de PolyPublie:
Titre de la revue
:
Thin Solid Films
(
vol.
391
,
no
1
)
Maison d'édition:
Elsevier
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:27502
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:21
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:03
Citer en APA 7:
Chun, J.-S., Desjardins, P., Petrov, I., Greene, J. E., Lavoie, C., & Cabral, C. J. (2001). Interfacial reaction pathways and kinetics during annealing of epitaxial Al(001)/TiN(001) model diffusion barrier systems. Thin Solid Films, 391(1), 69-80. https://doi.org/10.1016/s0040-6090%2801%2900938-5
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