Structural Properties of Silicon Dioxide Thin Films Densified by Medium-Energy Particles

A. Lefevre, L. J. Lewis, Ludvik Martinu et Michael R. Wertheimer

Article de revue (2001)

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Renseignements supplémentaires:	Nom historique du département: Département de génie physique et de génie des matériaux
Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/27254/
Titre de la revue:	Physical Review B (vol. 64, no 11)
Maison d'édition:	American Physical Society
DOI:	10.1103/physrevb.64.115429
URL officielle:	https://doi.org/10.1103/physrevb.64.115429
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:21
Dernière modification:	05 avr. 2024 11:14

Citer en APA 7:	Lefevre, A., Lewis, L. J., Martinu, L., & Wertheimer, M. R. (2001). Structural Properties of Silicon Dioxide Thin Films Densified by Medium-Energy Particles. Physical Review B, 64(11), 115429-115429. https://doi.org/10.1103/physrevb.64.115429
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