Structural Properties of Silicon Dioxide Thin Films Densified by Medium-Energy Particles

Alexis Lefèvre, Laurent J. Lewis, Ludvik Martinu, Michael R. Wertheimer

Article de revue (2001)

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Renseignements supplémentaires:
Nom historique du département: Département de génie physique et de génie des matériaux
Adresse URL de PolyPublie:
Titre de la revue :
Physical Review B ( vol. 64 , no 11 )
Maison d'édition:
American Physical Society
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:27254
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:21
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:03
Citer en APA 7:
Lefèvre, A., Lewis, L. J., Martinu, L., & Wertheimer, M. R. (2001). Structural Properties of Silicon Dioxide Thin Films Densified by Medium-Energy Particles. Physical Review B, 64(11), 115429-115429. https://doi.org/10.1103/physrevb.64.115429

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