P. Jedrzejowski, J. Cizek, A. Amassian, Jolanta-Ewa Sapieha
, J. Vlcek et Ludvik Martinu
Article de revue (2004)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| Centre de recherche: | GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces |
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/24944/ |
| Titre de la revue: | Thin Solid Films (vol. 447-448) |
| Maison d'édition: | Elsevier |
| DOI: | 10.1016/s0040-6090(03)01057-5 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1016/s0040-6090%2803%2901057-5 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:19 |
| Dernière modification: | 25 sept. 2024 16:04 |
| Citer en APA 7: | Jedrzejowski, P., Cizek, J., Amassian, A., Sapieha, J.-E., Vlcek, J., & Martinu, L. (2004). Mechanical and optical properties of hard SiCN coatings prepared by PECVD. Thin Solid Films, 447-448, 201-207. https://doi.org/10.1016/s0040-6090%2803%2901057-5 |
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