Mechanical and optical properties of hard SiCN coatings prepared by PECVD

Pawel Michal Jedrzejowski, J. Cizek, Aram Amassian, Jolanta-Ewa Sapieha, J. Vlček et Ludvik Martinu

Article de revue (2004)

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Département:	Département de génie physique
Centre de recherche:	GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/24944/
Titre de la revue:	Thin Solid Films (vol. 447-448)
Maison d'édition:	Elsevier
DOI:	10.1016/s0040-6090(03)01057-5
URL officielle:	https://doi.org/10.1016/s0040-6090%2803%2901057-5
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:19
Dernière modification:	24 juil. 2025 13:33

Citer en APA 7:	Jedrzejowski, P. M., Cizek, J., Amassian, A., Sapieha, J.-E., Vlček, J., & Martinu, L. (2004). Mechanical and optical properties of hard SiCN coatings prepared by PECVD. Thin Solid Films, 447-448, 201-207. https://doi.org/10.1016/s0040-6090%2803%2901057-5
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