Pawel Michal Jedrzejowski, J. Cizek, Aram Amassian, Jolanta-Ewa Sapieha
, J. Vlček, Ludvik Martinu
Article de revue (2004)
Accéder à ce document
Lien externe
Ce document n'est pas archivé dans PolyPublie, mais peut être consulté chez l'éditeur officiel
Département:
Unité de recherche:
Adresse URL de PolyPublie:
Titre de la revue
:
Thin Solid Films
(
vol.
447-448
)
Maison d'édition:
Elsevier
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:24944
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:19
Dernière modification:
14 oct. 2026 12:59
Citer en APA 7:
Jedrzejowski, P. M., Cizek, J., Amassian, A., Sapieha, J.-E., Vlček, J., & Martinu, L. (2004). Mechanical and optical properties of hard SiCN coatings prepared by PECVD. Thin Solid Films, 447-448, 201-207. https://doi.org/10.1016/s0040-6090%2803%2901057-5
Statistiques
Dimensions
