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Growth study of TiN and superhard nanocompostie c-TiN/Si₃N₄ and c-TiCN/a-SiCN coatings using in situ ellipsometry

P. Jedrzejowski, A. Amassian, E. Bousser, Ludvik Martinu et Jolanta-Ewa Sapieha

Communication écrite (2005)

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Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/24021/
Nom de la conférence: 48th Society of Vacuum Coaters Technical Conference
Lieu de la conférence: Denver, Colorado
Date(s) de la conférence: 2005-04-23 - 2005-04-28
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:18
Dernière modification: 25 sept. 2024 16:03
Citer en APA 7: Jedrzejowski, P., Amassian, A., Bousser, E., Martinu, L., & Sapieha, J.-E. (avril 2005). Growth study of TiN and superhard nanocompostie c-TiN/Si₃N₄ and c-TiCN/a-SiCN coatings using in situ ellipsometry [Communication écrite]. 48th Society of Vacuum Coaters Technical Conference, Denver, Colorado.

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