Growth of vacuum evaporated ultraporous silicon studied with spectroscopic ellipsometry and scanning electron microscopy

Kate Kaminska, Aram Amassian, Ludvik Martinu, Kevin Robbie

Article de revue (2005)

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Titre de la revue :
Journal of Applied Physics ( vol. 97 , no 1 )
Maison d'édition:
American Institute of Physics
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:24008
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:18
Dernière modification:
14 oct. 2026 12:58
Citer en APA 7:
Kaminska, K., Amassian, A., Martinu, L., & Robbie, K. (2005). Growth of vacuum evaporated ultraporous silicon studied with spectroscopic ellipsometry and scanning electron microscopy. Journal of Applied Physics, 97(1). https://doi.org/10.1063/1.1823029

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