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Growth of vacuum evaporated ultraporous silicon studied with spectroscopic ellipsometry and scanning electron microscopy

Kate Kaminska, Aram Amassian, Ludvik Martinu et Kevin Robbie

Article de revue (2005)

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Département: Département de génie physique
Centre de recherche: RQMP - Regroupement québécois sur les matériaux de pointe
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/24008/
Titre de la revue: Journal of Applied Physics (vol. 97, no 1)
Maison d'édition: American Institute of Physics
DOI: 10.1063/1.1823029
URL officielle: https://doi.org/10.1063/1.1823029
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:18
Dernière modification: 26 sept. 2024 11:54
Citer en APA 7: Kaminska, K., Amassian, A., Martinu, L., & Robbie, K. (2005). Growth of vacuum evaporated ultraporous silicon studied with spectroscopic ellipsometry and scanning electron microscopy. Journal of Applied Physics, 97(1). https://doi.org/10.1063/1.1823029

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