Hieronim Szymanowski, Oleg Zabeida, Jolanta-Ewa Sapieha
, Ludvik Martinu
Article de revue (2005)
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Titre de la revue
:
Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films
(
vol.
23
,
no
2
)
Maison d'édition:
American Vacuum Society
DOI:
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:23640
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:18
Dernière modification:
14 oct. 2026 12:57
Citer en APA 7:
Szymanowski, H., Zabeida, O., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (2005). Optical properties and microstructure of plasma deposited Ta₂O₅ and Nb₂O₅ films. Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 23(2), 241-247. https://doi.org/10.1116/1.1851544
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