Optical properties and microstructure of plasma deposited Ta₂O₅ and Nb₂O₅ films

H. Szymanowski, O. Zabeida, Jolanta-Ewa Sapieha et Ludvik Martinu

Article de revue (2005)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/23640/
Titre de la revue:	Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films (vol. 23, no 2)
Maison d'édition:	American Vacuum Society
DOI:	10.1116/1.1851544
URL officielle:	https://doi.org/10.1116/1.1851544
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:18
Dernière modification:	05 avr. 2024 11:08

Citer en APA 7:	Szymanowski, H., Zabeida, O., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (2005). Optical properties and microstructure of plasma deposited Ta₂O₅ and Nb₂O₅ films. Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 23(2), 241-247. https://doi.org/10.1116/1.1851544
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