H. Szymanowski, O. Zabeida, Jolanta-Ewa Sapieha
et Ludvik Martinu
Article de revue (2005)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| Centre de recherche: | RQMP - Regroupement québécois sur les matériaux de pointe |
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/23640/ |
| Titre de la revue: | Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films (vol. 23, no 2) |
| Maison d'édition: | American Vacuum Society |
| DOI: | 10.1116/1.1851544 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1116/1.1851544 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:18 |
| Dernière modification: | 08 avr. 2025 02:11 |
| Citer en APA 7: | Szymanowski, H., Zabeida, O., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (2005). Optical properties and microstructure of plasma deposited Ta₂O₅ and Nb₂O₅ films. Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 23(2), 241-247. https://doi.org/10.1116/1.1851544 |
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