Optical properties and microstructure of plasma deposited Ta₂O₅ and Nb₂O₅ films

H. Szymanowski, O. Zabeida, Jolanta-Ewa Sapieha et Ludvik Martinu

Article de revue (2005)

Un lien externe est disponible pour ce document

Département:	Département de génie physique
Centre de recherche:	RQMP - Regroupement québécois sur les matériaux de pointe
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/23640/
Titre de la revue:	Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films (vol. 23, no 2)
Maison d'édition:	American Vacuum Society
DOI:	10.1116/1.1851544
URL officielle:	https://doi.org/10.1116/1.1851544
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:18
Dernière modification:	26 sept. 2024 13:08

Citer en APA 7:	Szymanowski, H., Zabeida, O., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (2005). Optical properties and microstructure of plasma deposited Ta₂O₅ and Nb₂O₅ films. Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 23(2), 241-247. https://doi.org/10.1116/1.1851544
APA 7 (HTML)ASCII CitationAtomBibTeXDOIsDublin CoreEndNote (.ENW)MARC (ISO 2709/UTF-8) (.MRC)MARC (UTF-8) (.MRK8)MARC XMLMPEG-21 DIDLMultiline CSVOAI-ORE Resource Map (Atom Format)OPENAIREOpenURL ContextObjectOpenURL ContextObject in SpanRDF+N-TriplesRDF+N3RDF+XMLReferReference Manager (.RIS)Répertoire des publications (EndNote)Simple Metadata

Statistiques

Actions réservées au personnel