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On the differential flatness and control of electrostatically actuated MEMS

Guchuan Zhu, Jean Levine et Laurent Praly

Communication écrite (2005)

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Département: Département de génie électrique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/23496/
Nom de la conférence: American Control Conference (ACC 2005)
Lieu de la conférence: Portland, OR, United States
Date(s) de la conférence: 2005-06-08 - 2005-06-10
Maison d'édition: IEEE
DOI: 10.1109/acc.2005.1470341
URL officielle: https://doi.org/10.1109/acc.2005.1470341
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:19
Dernière modification: 25 sept. 2024 16:02
Citer en APA 7: Zhu, G., Levine, J., & Praly, L. (juin 2005). On the differential flatness and control of electrostatically actuated MEMS [Communication écrite]. American Control Conference (ACC 2005), Portland, OR, United States. https://doi.org/10.1109/acc.2005.1470341

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