A New Model of Fringing Capacitance and its Application to the Control of Parallel-Plate Electrostatic Micro Actuators

M. Hosseini, Guchuan Zhu et Yves-Alain Peter

Communication écrite (2006)

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Département:	Département de génie physique Département de génie électrique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/22969/
Nom de la conférence:	Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP 2006)
Lieu de la conférence:	Stresa, Italy
Date(s) de la conférence:	2006-01-01 - 2006-12-31
DOI:	10.48550/arxiv.0711.3335
URL officielle:	https://doi.org/10.48550/arxiv.0711.3335
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:17
Dernière modification:	08 avr. 2025 02:10

Citer en APA 7:	Hosseini, M., Zhu, G., & Peter, Y.-A. (janvier 2006). A New Model of Fringing Capacitance and its Application to the Control of Parallel-Plate Electrostatic Micro Actuators [Communication écrite]. Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP 2006), Stresa, Italy. https://doi.org/10.48550/arxiv.0711.3335
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