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A New Model of Fringing Capacitance and its Application to the Control of Parallel-Plate Electrostatic Micro Actuators

M. Hosseini, Guchuan Zhu et Yves-Alain Peter

Communication écrite (2006)

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Département: Département de génie physique
Département de génie électrique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/22969/
Nom de la conférence: Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP 2006)
Lieu de la conférence: Stresa, Italy
Date(s) de la conférence: 2006-01-01 - 2006-12-31
DOI: 10.48550/arxiv.0711.3335
URL officielle: https://doi.org/10.48550/arxiv.0711.3335
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:17
Dernière modification: 25 sept. 2024 16:02
Citer en APA 7: Hosseini, M., Zhu, G., & Peter, Y.-A. (janvier 2006). A New Model of Fringing Capacitance and its Application to the Control of Parallel-Plate Electrostatic Micro Actuators [Communication écrite]. Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP 2006), Stresa, Italy. https://doi.org/10.48550/arxiv.0711.3335

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