Real-time in situ growth study of TiN- and TiCₓNy-based superhard nanocomposite coatings using spectroscopic ellipsometry

P. Jedrzejowski, A. Amassian, Étienne Bousser, Jolanta-Ewa Sapieha, Ludvik Martinu

Article de revue (2006)

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Titre de la revue :
Applied Physics Letters ( vol. 88 , no 7 )
Maison d'édition:
American Institute of Physics
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:22942
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Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:17
Dernière modification:
14 oct. 2026 12:56
Citer en APA 7:
Jedrzejowski, P., Amassian, A., Bousser, É., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (2006). Real-time in situ growth study of TiN- and TiCₓNy-based superhard nanocomposite coatings using spectroscopic ellipsometry. Applied Physics Letters, 88(7), 71915-1. https://doi.org/10.1063/1.2173719

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