Guchuan Zhu
, Jean-François Chianetta, Mehran Hosseini et Yves-Alain Peter
Communication écrite (2006)
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| Département: |
Département de génie physique Département de génie électrique |
|---|---|
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/22355/ |
| Nom de la conférence: | Optomechatronic Actuators, Manipulation, and Systems Control |
| Lieu de la conférence: | Boston, MA, United States |
| Date(s) de la conférence: | 2006-10-01 - 2006-10-03 |
| Maison d'édition: | International Society for Optical Engineering |
| DOI: | 10.1117/12.692301 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1117/12.692301 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:18 |
| Dernière modification: | 25 sept. 2024 16:01 |
| Citer en APA 7: | Zhu, G., Chianetta, J.-F., Hosseini, M., & Peter, Y.-A. (octobre 2006). An investigation of phenomenal parasitics and robust control of parallel-plate electrostatic micro actuators [Communication écrite]. Optomechatronic Actuators, Manipulation, and Systems Control, Boston, MA, United States. https://doi.org/10.1117/12.692301 |
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