Guchuan Zhu
, Jean-François Chianetta, Mehran Hosseini, Yves-Alain Peter
Communication écrite (2006)
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Nom de la conférence:
Optomechatronic Actuators, Manipulation, and Systems Control
Lieu de la conférence:
Boston, MA, United States
Date(s) de la conférence:
2006-10-01 - 2006-10-03
Maison d'édition:
International Society for Optical Engineering
DOI:
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:22355
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:18
Dernière modification:
14 oct. 2026 12:55
Citer en APA 7:
Zhu, G., Chianetta, J.-F., Hosseini, M., & Peter, Y.-A. (octobre 2006). An investigation of phenomenal parasitics and robust control of parallel-plate electrostatic micro actuators [Communication écrite]. Optomechatronic Actuators, Manipulation, and Systems Control, Boston, MA, United States. https://doi.org/10.1117/12.692301
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