Guchuan Zhu
, J. Levine, L. Praly et Yves-Alain Peter
Article de revue (2006)
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| Département: |
Département de génie physique Département de génie électrique |
|---|---|
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/22353/ |
| Titre de la revue: | Journal of Microelectromechanical Systems (vol. 15, no 5) |
| Maison d'édition: | IEEE |
| DOI: | 10.1109/jmems.2006.880198 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1109/jmems.2006.880198 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:18 |
| Dernière modification: | 25 sept. 2024 16:01 |
| Citer en APA 7: | Zhu, G., Levine, J., Praly, L., & Peter, Y.-A. (2006). Flatness-Based Control of Electrostatically Actuated MEMS With Application to Adaptive Optics: a Simulation Study. Journal of Microelectromechanical Systems, 15(5), 1165-1174. https://doi.org/10.1109/jmems.2006.880198 |
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