Flatness-Based Control of Electrostatically Actuated MEMS With Application to Adaptive Optics: a Simulation Study

Guchuan Zhu, Jean Lévine, Laurent Praly, Yves-Alain Peter

Article de revue (2006)

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Département:
Département de génie physique
Département de génie électrique
Adresse URL de PolyPublie:
https://publications.polymtl.ca/22353/
Titre de la revue :
Journal of Microelectromechanical Systems ( vol. 15 , no 5 )
Maison d'édition:
IEEE
DOI:
10.1109/jmems.2006.880198
URL officielle:
https://doi.org/10.1109/jmems.2006.880198
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:22353
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:18
Dernière modification:
14 oct. 2026 12:55
Citer en APA 7:
Zhu, G., Lévine, J., Praly, L., & Peter, Y.-A. (2006). Flatness-Based Control of Electrostatically Actuated MEMS With Application to Adaptive Optics: a Simulation Study. Journal of Microelectromechanical Systems, 15(5), 1165-1174. https://doi.org/10.1109/jmems.2006.880198

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