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Modelling and Control of an Electrostatically Actuated Torsional Micromirror

Guchuan Zhu, Muthukumaran Packirisamy, Mehran Hosseini et Yves-Alain Peter

Article de revue (2006)

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Département: Département de génie électrique
Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/22352/
Titre de la revue: Journal of Micromechanics and Microengineering (vol. 16, no 10)
Maison d'édition: IOP Publishing
DOI: 10.1088/0960-1317/16/10/017
URL officielle: https://doi.org/10.1088/0960-1317/16/10/017
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:18
Dernière modification: 25 sept. 2024 16:01
Citer en APA 7: Zhu, G., Packirisamy, M., Hosseini, M., & Peter, Y.-A. (2006). Modelling and Control of an Electrostatically Actuated Torsional Micromirror. Journal of Micromechanics and Microengineering, 16(10), 2044-2052. https://doi.org/10.1088/0960-1317/16/10/017

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