Guchuan Zhu, Muthukumaran Packirisamy, Mehran Hosseini et Yves-Alain Peter
Article de revue (2006)
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Département de génie électrique Département de génie physique |
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URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/22352/ |
Titre de la revue: | Journal of Micromechanics and Microengineering (vol. 16, no 10) |
Maison d'édition: | IOP Publishing |
DOI: | 10.1088/0960-1317/16/10/017 |
URL officielle: | https://doi.org/10.1088/0960-1317/16/10/017 |
Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:18 |
Dernière modification: | 25 sept. 2024 16:01 |
Citer en APA 7: | Zhu, G., Packirisamy, M., Hosseini, M., & Peter, Y.-A. (2006). Modelling and Control of an Electrostatically Actuated Torsional Micromirror. Journal of Micromechanics and Microengineering, 16(10), 2044-2052. https://doi.org/10.1088/0960-1317/16/10/017 |
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