Modelling and Control of an Electrostatically Actuated Torsional Micromirror

Guchuan Zhu, Muthukumaran Packirisamy, Mehran Hosseini, Yves-Alain Peter

Article de revue (2006)

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Titre de la revue :
Journal of Micromechanics and Microengineering ( vol. 16 , no 10 )
Maison d'édition:
IOP Publishing
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:22352
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:18
Dernière modification:
14 oct. 2026 12:55
Citer en APA 7:
Zhu, G., Packirisamy, M., Hosseini, M., & Peter, Y.-A. (2006). Modelling and Control of an Electrostatically Actuated Torsional Micromirror. Journal of Micromechanics and Microengineering, 16(10), 2044-2052. https://doi.org/10.1088/0960-1317/16/10/017

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