Modelling and Control of an Electrostatically Actuated Torsional Micromirror

Guchuan Zhu, Muthukumaran Packirisamy, Mehran Hosseini et Yves-Alain Peter

Article de revue (2006)

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Département:	Département de génie électrique Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/22352/
Titre de la revue:	Journal of Micromechanics and Microengineering (vol. 16, no 10)
Maison d'édition:	IOP Publishing
DOI:	10.1088/0960-1317/16/10/017
URL officielle:	https://doi.org/10.1088/0960-1317/16/10/017
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:18
Dernière modification:	05 avr. 2024 11:06

Citer en APA 7:	Zhu, G., Packirisamy, M., Hosseini, M., & Peter, Y.-A. (2006). Modelling and Control of an Electrostatically Actuated Torsional Micromirror. Journal of Micromechanics and Microengineering, 16(10), 2044-2052. https://doi.org/10.1088/0960-1317/16/10/017
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