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Modeling and control of electrostatically actuated MEMS in the presence of parasitics and parametric uncertainties

Guchuan Zhu, Julien Penet et Lahcen Saydy

Article de revue (2007)

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Département: Département de génie électrique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/21236/
Titre de la revue: Journal of Dynamic Systems, Measurement and Control (vol. 129, no 6)
Maison d'édition: ASM International
DOI: 10.1115/1.2789469
URL officielle: https://doi.org/10.1115/1.2789469
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:17
Dernière modification: 25 sept. 2024 15:59
Citer en APA 7: Zhu, G., Penet, J., & Saydy, L. (2007). Modeling and control of electrostatically actuated MEMS in the presence of parasitics and parametric uncertainties. Journal of Dynamic Systems, Measurement and Control, 129(6), 786-794. https://doi.org/10.1115/1.2789469

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