Modeling and control of electrostatically actuated MEMS in the presence of parasitics and parametric uncertainties

Guchuan Zhu, Julien Penet, Lahcen Saydy

Article de revue (2007)

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Titre de la revue :
Journal of Dynamic Systems, Measurement and Control ( vol. 129 , no 6 )
Maison d'édition:
ASM International
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:21236
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:17
Dernière modification:
14 oct. 2026 12:53
Citer en APA 7:
Zhu, G., Penet, J., & Saydy, L. (2007). Modeling and control of electrostatically actuated MEMS in the presence of parasitics and parametric uncertainties. Journal of Dynamic Systems, Measurement and Control, 129(6), 786-794. https://doi.org/10.1115/1.2789469

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