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Nonlinear control of an electrostatic micromirror beyond pull-in with experimental validation

Carlos G. Agudelo, Muthukumaran Packirisamy, Guchuan Zhu et Lahcen Saydy

Article de revue (2009)

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Département: Département de génie électrique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/20054/
Titre de la revue: Journal of Microelectromechanical Systems (vol. 18, no 4)
Maison d'édition: IEEE
DOI: 10.1109/jmems.2009.2021819
URL officielle: https://doi.org/10.1109/jmems.2009.2021819
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:14
Dernière modification: 25 sept. 2024 15:58
Citer en APA 7: Agudelo, C. G., Packirisamy, M., Zhu, G., & Saydy, L. (2009). Nonlinear control of an electrostatic micromirror beyond pull-in with experimental validation. Journal of Microelectromechanical Systems, 18(4), 914-923. https://doi.org/10.1109/jmems.2009.2021819

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