Nonlinear control of an electrostatic micromirror beyond pull-in with experimental validation

Carlos G. Agudelo, Muthukumaran Packirisamy, Guchuan Zhu, Lahcen Saydy

Article de revue (2009)

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Département:
Département de génie électrique
Adresse URL de PolyPublie:
https://publications.polymtl.ca/20054/
Titre de la revue :
Journal of Microelectromechanical Systems ( vol. 18 , no 4 )
Maison d'édition:
IEEE
DOI:
10.1109/jmems.2009.2021819
URL officielle:
https://doi.org/10.1109/jmems.2009.2021819
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:20054
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:14
Dernière modification:
29 oct. 2026 11:00
Citer en APA 7:
Agudelo, C. G., Packirisamy, M., Zhu, G., & Saydy, L. (2009). Nonlinear control of an electrostatic micromirror beyond pull-in with experimental validation. Journal of Microelectromechanical Systems, 18(4), 914-923. https://doi.org/10.1109/jmems.2009.2021819

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