M. Guihard, P. Turcotte-Tremblay, Simon Gaudet, C. Coia, S. Roorda, Patrick Desjardins
, C. Lavoie et F. Schiettekatte
Article de revue (2009)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/19521/ |
| Titre de la revue: | Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B, Beam Interactions With Materials and Atoms (vol. 267, no 8-9) |
| Maison d'édition: | Elsevier |
| DOI: | 10.1016/j.nimb.2009.01.149 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1016/j.nimb.2009.01.149 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:14 |
| Dernière modification: | 05 avr. 2024 11:02 |
| Citer en APA 7: | Guihard, M., Turcotte-Tremblay, P., Gaudet, S., Coia, C., Roorda, S., Desjardins, P., Lavoie, C., & Schiettekatte, F. (2009). Controlling nickel silicide phase formation by Si implantation damage. Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B, Beam Interactions With Materials and Atoms, 267(8-9), 1285-1289. https://doi.org/10.1016/j.nimb.2009.01.149 |
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