Controlling nickel silicide phase formation by Si implantation damage

M. Guihard, P. Turcotte-Tremblay, Simon Gaudet, C. Coia, S. Roorda, Patrick Desjardins, C. Lavoie et F. Schiettekatte

Article de revue (2009)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/19521/
Titre de la revue:	Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B, Beam Interactions With Materials and Atoms (vol. 267, no 8-9)
Maison d'édition:	Elsevier
DOI:	10.1016/j.nimb.2009.01.149
URL officielle:	https://doi.org/10.1016/j.nimb.2009.01.149
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:14
Dernière modification:	08 avr. 2025 02:06

Citer en APA 7:	Guihard, M., Turcotte-Tremblay, P., Gaudet, S., Coia, C., Roorda, S., Desjardins, P., Lavoie, C., & Schiettekatte, F. (2009). Controlling nickel silicide phase formation by Si implantation damage. Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B, Beam Interactions With Materials and Atoms, 267(8-9), 1285-1289. https://doi.org/10.1016/j.nimb.2009.01.149
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