J. Kalaš, Richard Vernhes, S. Hřeben, J. Vlček, Jolanta-Ewa Sapieha
et Ludvik Martinu
Article de revue (2009)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| Centre de recherche: | GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces |
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/19405/ |
| Titre de la revue: | Thin Solid Films (vol. 518, no 1) |
| Maison d'édition: | Elsevier |
| DOI: | 10.1016/j.tsf.2009.06.017 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1016/j.tsf.2009.06.017 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:14 |
| Dernière modification: | 25 sept. 2024 15:57 |
| Citer en APA 7: | Kalaš, J., Vernhes, R., Hřeben, S., Vlček, J., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (2009). High-temperature stability of the mechanical and optical properties of Si-B-C-N films prepared by magnetron sputtering. Thin Solid Films, 518(1), 174-179. https://doi.org/10.1016/j.tsf.2009.06.017 |
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