High-temperature stability of the mechanical and optical properties of Si-B-C-N films prepared by magnetron sputtering

J. Kala, R. Vernhes, S. Hreben, J. Vlcek, Jolanta-Ewa Sapieha et Ludvik Martinu

Article de revue (2009)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/19405/
Titre de la revue:	Thin Solid Films (vol. 518, no 1)
Maison d'édition:	Elsevier
DOI:	10.1016/j.tsf.2009.06.017
URL officielle:	https://doi.org/10.1016/j.tsf.2009.06.017
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:14
Dernière modification:	05 avr. 2024 11:02

Citer en APA 7:	Kala, J., Vernhes, R., Hreben, S., Vlcek, J., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (2009). High-temperature stability of the mechanical and optical properties of Si-B-C-N films prepared by magnetron sputtering. Thin Solid Films, 518(1), 174-179. https://doi.org/10.1016/j.tsf.2009.06.017
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