J. Kalaš, Richard Vernhes, S. Hřeben, J. Vlček, Jolanta-Ewa Sapieha
, Ludvik Martinu
Article de revue (2009)
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Titre de la revue
:
Thin Solid Films
(
vol.
518
,
no
1
)
Maison d'édition:
Elsevier
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:19405
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:14
Dernière modification:
14 oct. 2026 11:23
Citer en APA 7:
Kalaš, J., Vernhes, R., Hřeben, S., Vlček, J., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (2009). High-temperature stability of the mechanical and optical properties of Si-B-C-N films prepared by magnetron sputtering. Thin Solid Films, 518(1), 174-179. https://doi.org/10.1016/j.tsf.2009.06.017
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