Infinite-Dimensional Modelling and Control of a MEMS Deformable Mirror with Applications in Adaptive Optics

Le contrôle de déformation est un problème émergent dans les micro structures intelligentes. Une des applications type est le contrôle de la déformation de miroirs dans l'optique adaptative dans laquelle on oriente la face du miroir selon une géométrie précise en utilisant une gamme de micro-vérins afin d'éliminer la distortion lumineuse. Dans cette thèse, le problème de la conception du contrôle du suivi est considéré directement avec les modèles décrits par des équations aux dérivées partielles définies dans l'espace de dimension infinie. L'architecture du contrôleur proposée se base sur la stabilisation par retour des variables et le suivi des trajectoires utilisant la théorie des systèmes différentiellement plats. La combinaison de la commande par rétroaction et la planification des trajectoires permet de réduire la complexité de la structure du contrôleur pour que ce dernier puisse être implémentée dans les microsystèmes avec les techniques disponibles de nos jours. Pour aboutir à une architecture implémentable dans les applications en temps réel, la fonction de Green est considérée comme une fonction de test pour concevoir le contrôleur et pour représenter les trajectoires de référence dans la planification de mouvements.