Laser-induced resistance fine tuning of integrated polysilicon thin-film resistors

Étienne Boulais, J. Fantoni, A. Chateauneuf, Yvon Savaria, Michel Meunier

Article de revue (2011)

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Titre de la revue :
IEEE Transactions on Electron Devices ( vol. 58 , no 2 )
Maison d'édition:
IEEE
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:17164
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:11
Dernière modification:
14 oct. 2026 11:19
Citer en APA 7:
Boulais, É., Fantoni, J., Chateauneuf, A., Savaria, Y., & Meunier, M. (2011). Laser-induced resistance fine tuning of integrated polysilicon thin-film resistors. IEEE Transactions on Electron Devices, 58(2), 572-575. https://doi.org/10.1109/ted.2010.2093770

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