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Laser-induced resistance fine tuning of integrated polysilicon thin-film resistors

E. Boulais, J. Fantoni, A. Chateauneuf, Yvon Savaria et Michel Meunier

Article de revue (2011)

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Département: Département de génie physique
Département de génie électrique
Centre de recherche: GR2M - Groupe de recherche en microélectronique et microsystèmes
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/17164/
Titre de la revue: IEEE Transactions on Electron Devices (vol. 58, no 2)
Maison d'édition: IEEE
DOI: 10.1109/ted.2010.2093770
URL officielle: https://doi.org/10.1109/ted.2010.2093770
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:11
Dernière modification: 25 sept. 2024 15:54
Citer en APA 7: Boulais, E., Fantoni, J., Chateauneuf, A., Savaria, Y., & Meunier, M. (2011). Laser-induced resistance fine tuning of integrated polysilicon thin-film resistors. IEEE Transactions on Electron Devices, 58(2), 572-575. https://doi.org/10.1109/ted.2010.2093770

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