J. Capek, M. Hala, O. Zabeida, Jolanta-Ewa Sapieha
et Ludvik Martinu
Article de revue (2012)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/15700/ |
| Titre de la revue: | Journal of Applied Physics (vol. 111, no 2) |
| Maison d'édition: | American Institute of Physics |
| DOI: | 10.1063/1.3673871 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1063/1.3673871 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:10 |
| Dernière modification: | 25 sept. 2024 15:53 |
| Citer en APA 7: | Capek, J., Hala, M., Zabeida, O., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (2012). Steady State Discharge Optimization in High-Power Impulse Magnetron Sputtering Through the Control of the Magnetic Field. Journal of Applied Physics, 111(2), 9 pages. https://doi.org/10.1063/1.3673871 |
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