Jiří Čapek, Matěj Hala, Oleg Zabeida, Jolanta-Ewa Sapieha
, Ludvik Martinu
Article de revue (2012)
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Titre de la revue
:
Journal of Applied Physics
(
vol.
111
,
no
2
)
Maison d'édition:
American Institute of Physics
DOI:
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:15700
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:10
Dernière modification:
14 oct. 2026 11:17
Citer en APA 7:
Čapek, J., Hala, M., Zabeida, O., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (2012). Steady State Discharge Optimization in High-Power Impulse Magnetron Sputtering Through the Control of the Magnetic Field. Journal of Applied Physics, 111(2), 9 pages. https://doi.org/10.1063/1.3673871
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