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Pulse Management in High Power Pulsed Magnetron Sputtering of Niobium

M. Hala, J. Capek, O. Zabeida, Jolanta-Ewa Sapieha et Ludvik Martinu

Article de revue (2012)

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Département: Département de génie physique
Centre de recherche: LaRFIS - Laboratoire des Revêtements Fonctionnels et Ingénierie des Surfaces
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/15304/
Titre de la revue: Surface and Coatings Technology (vol. 206, no 19-20)
Maison d'édition: Elsevier
DOI: 10.1016/j.surfcoat.2012.04.019
URL officielle: https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2012.04.019
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:11
Dernière modification: 25 sept. 2024 15:52
Citer en APA 7: Hala, M., Capek, J., Zabeida, O., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (2012). Pulse Management in High Power Pulsed Magnetron Sputtering of Niobium. Surface and Coatings Technology, 206(19-20), 4186-4193. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2012.04.019

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